Halbleiterfertigung — Technika, Ročník 12
Úvod
Výroba polovodičov vytvára z ultračistých materiálov drobné štruktúry, kde sú čistota a presnosť rozhodujúce.
Pojmy
- wafer
- dopovanie
- litografia
- čistá miestnosť
- proces leptania
Výroba polovodičov vytvára z ultračistých materiálov drobné štruktúry, kde sú čistota a presnosť rozhodujúce.